科研人員研發(fā)“閃速退火”工藝一秒“煉”就晶圓級高性能儲能薄膜

2025-11-15 16:38:06

每經(jīng)AI快訊，近日，中國科學(xué)院金屬研究所沈陽材料科學(xué)國家研究中心胡衛(wèi)進(jìn)研究員團(tuán)隊攜手合作者，開發(fā)出一種熱處理升降溫速率可達(dá)每秒1000攝氏度的“閃速退火”工藝，成功制備出晶圓級高性能儲能薄膜。相關(guān)成果于11月15日凌晨發(fā)表在《科學(xué)進(jìn)展》期刊上，為下一代高性能儲能電容器件的制造開辟了一條新路徑。（新華社）

責(zé)編張明雙

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